申请/专利权人：西安空间无线电技术研究所

申请日：2023-12-05

公开（公告）日：2024-04-09

公开（公告）号：CN117855024A

主分类号：H01J65/04

分类号：H01J65/04;H01J61/20

优先权：

专利状态码：在审-实质审查的生效

法律状态：2024.04.26#实质审查的生效;2024.04.09#公开

摘要：本发明公开了一种高光谱稳定性深紫外谱灯装置，该谱灯面向汞离子微波钟光抽运的应用需求，实现原子气室、射频激励设计及射频等离子体模式与参数调控。本发明深紫外谱灯装置包含三项技术创新：1原子气室设计方案；2射频激励方案；3射频等离子体模式与参数调控方案。采用本发明194.2nm光功率能够达到30uW，光功率稳定性优于1％d，谱灯整体光功率优于10mW，能够满足汞离子微波钟光抽运需求。

主权项：1.一种高光谱稳定性深紫外谱灯装置，其特征在于包括：原子气室、底座、螺旋线圈、金属壳体、保温壳体、LC振荡电路和温控电路；原子气室包含中空的圆柱形泡体及尾椎，气室尾椎存储液态汞，并通过导热硅胶粘接在底座的圆锥形凹槽中；螺旋线圈缠绕在原子气室上，共同作为LC振荡电路选频网络的电感；原子气室外依次为圆柱形保温壳体和金属壳体，其中金属壳体用于屏蔽射频场向外泄露，保温壳体用于给原子气室保温，温控电路用于原子气室的温度控制，包含PCB板、加热管和热敏电阻，其中热敏电阻和加热管均安装于底座或金属壳体上，金属壳体与底座通过金属螺丝相连。

全文数据：

权利要求：

百度查询： 西安空间无线电技术研究所 一种高光谱稳定性深紫外谱灯装置

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