申请/专利权人：东方日升(安徽)新能源有限公司

申请日：2023-12-29

公开（公告）日：2024-04-09

公开（公告）号：CN117855332A

主分类号：H01L31/18

分类号：H01L31/18;H01L31/0224;H01L31/0368

优先权：

专利状态码：在审-实质审查的生效

法律状态：2024.04.26#实质审查的生效;2024.04.09#公开

摘要：本申请的实施例涉及太阳电池领域，并提供一种TOPCon电池的制备方法及TOPCon电池，所述制备方法包括：首先在硅片表面制绒，以增加入射光的利用率，然后在硅片的正面制备正面隧穿氧化层和掺硼非晶硅层，退火转化得到多晶硅后，对正面多晶硅层进行图形化处理，使得非金属区的多晶硅进行刻蚀，以减少光吸收，而金属区多晶硅保留下来用于后续与电极形成良好的接触。本申请通过在硅片正面制备图形化的接触钝化结构，可以达到金属区高掺杂的表面浓度和电极形成良好的接触，而非金属区无多晶硅的寄生吸收和低的表面掺杂，形成良好的正面钝化效果，解决正面金属区复合大的问题，提升正面钝化及电池转换效率。

主权项：1.一种TOPCon电池的制备方法，其特征在于：包括：S1：在硅片表面制绒；S2：在制绒后的硅片正面制备正面隧穿氧化层和掺硼非晶硅层；S3：对S2后的硅片进行退火处理，使得所述掺硼非晶硅层转化为掺硼多晶硅层，同时硼源内扩；S4：对S3后的硅片进行图形化刻蚀，将所述掺硼多晶硅层的金属区保留，将所述掺硼多晶硅的非金属区刻蚀；S5：在S4后的硅片背面制备背面隧穿氧化层和掺磷非晶硅层。

全文数据：

权利要求：

百度查询： 东方日升(安徽)新能源有限公司 一种TOPCon电池的制备方法及TOPCon电池

免责声明
1、本报告根据公开、合法渠道获得相关数据和信息，力求客观、公正，但并不保证数据的最终完整性和准确性。
2、报告中的分析和结论仅反映本公司于发布本报告当日的职业理解，仅供参考使用，不能作为本公司承担任何法律责任的依据或者凭证。

阅读全文 双屏查看 官方信息 专利公告 收藏专利 下载PDF 下载WORD