申请/专利权人：芯朋半导体科技(如东)有限公司

申请日：2024-01-12

公开（公告）日：2024-04-09

公开（公告）号：CN117855120A

主分类号：H01L21/677

分类号：H01L21/677;H01L21/67;B08B3/08;B08B3/10;B08B5/02;B08B13/00

优先权：

专利状态码：在审-实质审查的生效

法律状态：2024.04.26#实质审查的生效;2024.04.09#公开

摘要：本申请实施例提供一种用于半导体清洗台的防静电型输送组件，涉及半导体清洗领域。一种用于半导体清洗台的防静电型输送组件包括：清洗操作台的上端表面一侧设有清洁盒，同时其清洁盒内部还设有可对半导体芯片限位输送的导轨组件，而在导轨组件的两侧相对处分别设有对吹组件，通过其对吹组件可加速清洁盒溶液的双向流动性，清洁盒的一侧还设有输送区，在半导体芯片需要处理时，同时随着电机运转，随后通过输送组件和传送带模组输送至清洁段被溶液沉浸，继而通过叶片和叶轮，即可加速清洁盒内部的溶液流入加速管内部，并且通过导流管和对冲管即可实现对向冲洗，以加速清洁段的溶液流动，以起到清理的效果。

主权项：1.一种用于半导体清洗台的防静电型输送组件，包括清洗操作台（1），其特征在于，清洗操作台（1）的上端表面一侧设有清洁盒（11），同时其清洁盒（11）内部还设有可对半导体芯片限位输送的导轨组件（3），而在导轨组件（3）的两侧相对处分别设有对吹组件（5），通过其对吹组件（5）可加速清洁盒（11）溶液的双向流动性，清洁盒（11）的一侧还设有输送区（12）。

全文数据：

权利要求：

百度查询： 芯朋半导体科技(如东)有限公司 一种用于半导体清洗台的防静电型输送组件

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