申请/专利权人：南京瀚深工业部件有限公司

申请日：2023-08-10

公开（公告）日：2024-04-23

公开（公告）号：CN220829946U

主分类号：H01L21/683

分类号：H01L21/683

优先权：

专利状态码：有效-授权

法律状态：2024.04.23#授权

摘要：本实用新型公开了一种静电吸附承载装置，涉及承载装置技术领域。包括底座，所述底座的顶部边缘开设有转动槽，所述转动槽的内部设置有转动座，所述转动座的顶部固定连接有驱动组件，所述驱动组件包括驱动环，所述驱动环和转动座的顶部相固定，所述驱动环的内壁开设有驱动齿槽。本实用新型通过启动电机带动驱动齿轮转动，驱动齿轮借助驱动齿槽带动驱动环转动，驱动环借助转动槽内部的转动座完成转动的同时，带动联动齿轮进行同步转动，当驱动齿轮、联动齿轮同步转动时，即可带动齿条沿着安装架进行往复移动，同时通过防滑垫与静电吸附承载台表面的接触实现对不同尺寸静电吸附承载台的夹持固定，提高了装置的适用性。

主权项：1.一种静电吸附承载装置，包括底座（1），其特征在于：所述底座（1）的顶部边缘开设有转动槽（2），所述转动槽（2）的内部设置有转动座（3），所述转动座（3）的顶部固定连接有驱动组件（4），所述驱动组件（4）包括驱动环（401），所述驱动环（401）和转动座（3）的顶部相固定，所述驱动环（401）的内壁开设有驱动齿槽（402），所述驱动环（401）内壁的一侧啮合有驱动齿轮（403），所述驱动齿轮（403）的底部设置有电机（404），所述电机（404）的输出端和驱动齿轮（403）相固定，所述驱动环（401）内壁的另一侧、两端啮合有若干联动齿轮（405），所述驱动齿轮（403）、联动齿轮（405）的一端顶部啮合有夹持组件（5），所述底座（1）的顶部中心设置有静电吸附承载台（6）。

全文数据：

权利要求：

百度查询： 南京瀚深工业部件有限公司 一种静电吸附承载装置

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