申请/专利权人:青岛高测科技股份有限公司
申请日:2023-10-10
公开(公告)日:2024-04-23
公开(公告)号:CN220825764U
主分类号:B24B9/06
分类号:B24B9/06;B24B41/06;B24B47/12
优先权:
专利状态码:有效-授权
法律状态:2024.04.23#授权
摘要:本实用新型涉及加工设备技术领域,具体涉及一种承载装置及包括该承载装置的倒角机。本申请旨在解决现有承载装置的设置方式不佳,影响工作效率的问题。为此,本申请的承载装置包括第一水平驱动组件、第二水平驱动组件、旋转驱动组件及承载构件,第一水平驱动组件能够驱动第二水平驱动组件沿第一水平方向移动,第二水平驱动组件能够驱动旋转驱动组件沿第二水平方向移动,第二水平方向与第一水平方向交叉设置,旋转驱动组件能够驱动承载构件绕竖直轴线旋转。通过设置第一水平驱动组件和第二水平驱动组件,能够提高工作效率,可以带着承载构件沿两个不同的水平方向移动,运动更加灵活,便于使承载构件的中心与晶圆的中心对正。
主权项:1.一种承载装置,其特征在于,所述承载装置包括安装在固定基体上的第一水平驱动组件、安装在所述第一水平驱动组件上的第二水平驱动组件、安装在所述第二水平驱动组件上的旋转驱动组件以及安装在所述旋转驱动组件上的承载构件,所述第一水平驱动组件能够驱动所述第二水平驱动组件沿第一水平方向移动,所述第二水平驱动组件能够驱动所述旋转驱动组件沿第二水平方向移动,所述第二水平方向与所述第一水平方向交叉设置,所述旋转驱动组件能够驱动所述承载构件绕竖直轴线旋转,所述承载构件用于承载物料。
全文数据:
权利要求:
百度查询: 青岛高测科技股份有限公司 承载装置及包括该承载装置的倒角机
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