申请/专利权人：青岛高测科技股份有限公司

申请日：2023-10-10

公开（公告）日：2024-04-23

公开（公告）号：CN220825767U

主分类号：B24B9/06

分类号：B24B9/06;B24B49/00;B24B41/02

优先权：

专利状态码：有效-授权

法律状态：2024.04.23#授权

摘要：本实用新型涉及加工设备技术领域，具体涉及一种厚度检测装置及倒角机。本申请旨在解决现有的厚度检测装置的结构布置不太合理，易导致晶圆出现破损的技术问题。为此目的，本申请的厚度检测装置包括固定构件、支撑悬臂和厚度检测组件，所述支撑悬臂的第一端与所述固定构件固定连接，所述厚度检测组件安装在所述支撑悬臂的第二端。本实用新型的厚度检测装置通过设置支撑悬臂来安装厚度检测组件，并将厚度检测组件安装在支撑悬臂远离固定构件的一端，使得厚度检测组件的周围比较空旷，便于将晶圆转移至厚度检测组件，也便于将厚度检测组件上的晶圆转移走，既能够避免晶圆与固定构件碰撞而出现损伤，又有利于提高工作效率。

主权项：1.一种厚度检测装置，其特征在于，所述厚度检测装置包括固定构件、支撑悬臂和厚度检测组件，所述支撑悬臂的第一端与所述固定构件固定连接，所述厚度检测组件安装在所述支撑悬臂的第二端。

全文数据：

权利要求：

百度查询： 青岛高测科技股份有限公司 厚度检测装置及倒角机

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