申请/专利权人:海宁科海光电科技有限公司
申请日:2023-10-10
公开(公告)日:2024-04-23
公开(公告)号:CN220829181U
主分类号:G01B11/06
分类号:G01B11/06
优先权:
专利状态码:有效-授权
法律状态:2024.04.23#授权
摘要:本实用新型公开了一种测量透明薄膜厚度的装置,包括:激光发生件,用于形成激光光路;数码相机,且形成有用于使激光光路形成像位点的像面;调节系统,用于与激光发生件和数码相机连接;其中,所述待测量透明薄膜位于所述激光光路中;所述激光光路经待测量透明薄膜后形成入射光路和两条反射光路;两条反射光路在所述像面上形成两个像位点;所述调节系统用于获取两个像位点的位置信息、调节激光发生件的能量信息和输出待测量透明薄膜的厚度信息。
主权项:1.一种测量透明薄膜厚度的装置,其特征在于,包括:激光发生件,用于形成激光光路;数码相机,且形成有用于使激光光路形成像位点的像面;调节系统,用于与激光发生件和数码相机连接;其中,待测量透明薄膜位于所述激光光路中;所述激光光路经待测量透明薄膜后形成入射光路和两条反射光路;两条反射光路在所述像面上形成两个像位点;所述调节系统用于获取两个像位点的位置信息、调节激光发生件的能量信息和输出待测量透明薄膜的厚度信息。
全文数据:
权利要求:
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