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【发明公布】金刚石涂层刀具的膜厚监测方法及涂层设备_广东鼎泰高科技术股份有限公司_202311803397.3 

申请/专利权人:广东鼎泰高科技术股份有限公司

申请日:2023-12-25

公开(公告)日:2024-04-09

公开(公告)号:CN117848261A

主分类号:G01B21/08

分类号:G01B21/08;G06F30/17;G06F30/20;G06F17/10;C23C16/27;C23C16/52;G01G19/414;G01B21/02;G01B21/10

优先权:

专利状态码:在审-实质审查的生效

法律状态:2024.04.26#实质审查的生效;2024.04.09#公开

摘要:本发明公开一种金刚石涂层刀具的膜厚监测方法,所述刀具包括刃部,所述膜厚监测方法包括如下步骤:获取待镀膜刀具的实际参数;依据所述实际参数确定对应的仿真参数,依据所述仿真参数选取对应的参考工件,所述参考工件包括圆台形的仿真刀刃;构建膜厚计算模型,所述膜厚计算模型通过所述仿真参数和实时测量的所述参考工件的重量得到,表征所述参考工件在镀膜时,所述仿真刀刃的膜厚和和参考工件的重量之间的映射关系;获取所述待镀膜刀具的实时重量和或所述参考工件的实时重量,依据所述膜厚计算模型,确定所述待镀膜刃部的实时膜厚。本发明结构简洁,控制方法直接,涂层厚度控制更精确,非常利于实际操作。

主权项:1.一种金刚石涂层刀具的膜厚监测方法,其特征在于,所述刀具包括刃部,所述膜厚监测方法包括如下步骤:获取待镀膜刀具的实际参数;依据所述实际参数确定对应的仿真参数,依据所述仿真参数选取对应的参考工件,所述参考工件包括圆台形的仿真刀刃;构建膜厚计算模型,所述膜厚计算模型通过所述仿真参数和实时测量的所述参考工件的重量得到,表征所述参考工件在镀膜时,所述仿真刀刃的膜厚和所述参考工件的重量之间的映射关系;获取镀膜过程中的所述待镀膜刀具的实时重量和或所述参考工件的实时重量,依据所述膜厚计算模型,确定所述刃部的实时膜厚。

全文数据:

权利要求:

百度查询: 广东鼎泰高科技术股份有限公司 金刚石涂层刀具的膜厚监测方法及涂层设备

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