申请/专利权人：湖南沃尔博精密工具有限公司

申请日：2024-02-19

公开（公告）日：2024-04-23

公开（公告）号：CN117739875B

主分类号：G01B11/30

分类号：G01B11/30;G01B11/06;H01L31/0352;H01L31/103;H01L31/18

优先权：

专利状态码：有效-授权

法律状态：2024.04.23#授权;2024.04.09#实质审查的生效;2024.03.22#公开

摘要：本发明公开了一种基于光电效应的刀具涂层均匀性检测系统及方法，其检测系统包括用于夹持待测刀具的回转夹头和用于检测待测刀具上涂层数据的光电检测装置，所述光电检测装置包括激光光源、光电二极管，激光光源的光信号倾斜射向待测刀具的表面，光电二极管接收经过待测刀具表面反射的不同角度的光信号并转成对应的电信号；所述光电二极管包括由P+注入区、N‑Well区、第二DN‑Well区、NBL埋层区构成的全耗尽区域。本发明将光路、机械自动化装置与光电检测相集成，并将刀具表面数据进行分组对比，具有低功耗、响应快、实时测量的优势，大幅度减少刀具涂层均匀性检测的作业时间，提高了检测效率和精度，可实现对不同波段的光子检测。

主权项：1.一种基于光电效应的刀具涂层均匀性检测系统，其特征在于：包括支撑架（1）和控制显示器（2），在支撑架上安装有用于夹持待测刀具（3）的回转夹头（4）和用于检测待测刀具上涂层数据的光电检测装置，所述光电检测装置包括安装在支撑架上的隔离罩（5）和驱动装置（6），在隔离罩内设有激光光源（7）、光电二极管（8）、读出电路模块（9）和数据处理模块（10），隔离罩与驱动装置相连并由其控制沿回转夹头轴线运动至套装在待测刀具外；激光光源的光信号倾斜射向待测刀具的表面；光电二极管接收经过待测刀具表面反射的不同角度的光信号并转成对应的电信号；读出电路模块与光电二极管电连接，用于接收并放大光电二极管输出的电信号；数据处理模块与读出电路模块电连接，用于处理并传输转化后的电信号；所述光电二极管包括P-Sub衬底（81），在P-Sub衬底上设有NBL埋层区（82），在NBL埋层区上由外至内依次环形套设的第一DN-Well区（83）、P-EPI区（85）和第二DN-Well区（84），在第一DN-Well区上设有环形布置的N+注入区（87），在第二DN-Well区上由下至上依次设有N-Well区（86）和P+注入区（88），所述P+注入区、N-Well区、第二DN-Well区、NBL埋层区构成全耗尽区域；控制显示器与数据处理模块电连接，用于接收待测刀具上的涂层数据并分析评价待测刀具上涂层的均匀性。

全文数据：

权利要求：

百度查询： 湖南沃尔博精密工具有限公司 一种基于光电效应的刀具涂层均匀性检测系统及方法

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