申请/专利权人:中电科蓝天科技股份有限公司;天津恒电空间电源有限公司
申请日:2023-12-30
公开(公告)日:2024-04-09
公开(公告)号:CN117855331A
主分类号:H01L31/18
分类号:H01L31/18;H01L31/0216;H01L31/0224
优先权:
专利状态码:在审-实质审查的生效
法律状态:2024.04.26#实质审查的生效;2024.04.09#公开
摘要:本申请提供一种三结砷化镓太阳电池合并光刻的方法,光刻并蒸镀上电极层;蒸镀下电极层;在电池上电极表面蒸镀减反射膜;通过一次性光刻获得隔离槽和焊点区域图形;通过腐蚀将隔离槽区域的外延层去除;继续腐蚀将焊点区域图形处进行腐蚀,获得可焊接的表面;去除光刻胶。本申请一种三结砷化镓太阳电池合并光刻的方法,在保证电池品质的基础上,不仅可缩短光刻工艺次数及工艺时长,而且还可避免腐蚀溶液对电极表面的腐蚀,降低生产成本。
主权项:1.一种三结砷化镓太阳电池合并光刻的方法,其特征在于,步骤包括:光刻并蒸镀上电极层;蒸镀下电极层;在电池上电极表面蒸镀减反射膜;通过一次性光刻获得隔离槽和焊点区域图形;通过腐蚀将隔离槽区域的外延层去除;继续腐蚀将焊点区域图形处进行腐蚀,获得可焊接的表面;去除光刻胶。
全文数据:
权利要求:
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