申请/专利权人：万华化学集团股份有限公司

申请日：2023-12-14

公开（公告）日：2024-04-09

公开（公告）号：CN117843682A

主分类号：C07F9/54

分类号：C07F9/54;C07C303/32;C07C309/06;C07C309/07;C07C309/39;C07C309/30;G03F7/004

优先权：

专利状态码：在审-实质审查的生效

法律状态：2024.04.26#实质审查的生效;2024.04.09#公开

摘要：本发明公开了一种磷鎓盐光致产酸剂、其制备方法及其应用，所述磷鎓盐光致产酸剂具有如下结构通式：本发明的光致产酸剂不仅可使亮区与暗区的对比度高，且可同时增大加工工艺窗口，用于光刻胶中具有优异的效果。

主权项：1.一种磷鎓盐光致产酸剂，其特征在于，具有如下结构通式： 其中，R1、R2、R3、R4相同或不同，分别独立地选自H、C1～C6烷基、卤素、烷氧基、羟基、卤素取代的烷基、羟基取代的烷基或烷氧基取代的烷基；优选的，R1、R2、R3、R4分别独立地选自H或C1～C3烷基；X为磺酸基强酸的阴离子；优选的，X为三氟磺酸基、三氟苯磺酸基、全氟丁基磺酸基、樟脑磺酸基或对甲基苯磺酸基。

全文数据：

权利要求：

百度查询： 万华化学集团股份有限公司 一种磷鎓盐光致产酸剂、其制备方法及其应用

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