申请/专利权人：浙江睿熙科技有限公司

申请日：2023-12-29

公开（公告）日：2024-04-09

公开（公告）号：CN117856037A

主分类号：H01S5/183

分类号：H01S5/183

优先权：

专利状态码：在审-实质审查的生效

法律状态：2024.04.26#实质审查的生效;2024.04.09#公开

摘要：公开了一种多结VCSEL激光器及其堆叠结构和制造方法。所述VCSEL堆叠结构包括：底部DBR层、顶部DBR层、至少二有源区、至少一隧道结和至少一氧化限制层；所述有源区、所述隧道结和所述氧化限制层相互叠置，且位于所述底部DBR层与所述顶部DBR层之间；每一所述有源区包括至少一P掺杂型结构层、至少一N型掺杂结构层和至少一量子阱，所述量子阱位于所述P掺杂型结构层和所述N型掺杂结构层之间；至少一所述氧化限制层最邻近的结构层为N型掺杂结构层。

主权项：1.一种VCSEL堆叠结构，其特征在于，包括：底部DBR层、顶部DBR层、至少二有源区、至少一隧道结和至少一氧化限制层；所述有源区、所述隧道结和所述氧化限制层相互叠置，且位于所述底部DBR层与所述顶部DBR层之间；每一所述有源区包括至少一P掺杂型结构层、至少一N型掺杂结构层和至少一量子阱，所述量子阱位于所述P掺杂型结构层和所述N型掺杂结构层之间；至少一所述氧化限制层最邻近的结构层为N型掺杂结构层。

全文数据：

权利要求：

百度查询： 浙江睿熙科技有限公司 多结VCSEL激光器及其堆叠结构和制造方法

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