申请/专利权人：中国航空工业集团公司上海航空测控技术研究所

申请日：2019-09-23

公开（公告）日：2024-04-09

公开（公告）号：CN110749638B

主分类号：G01N27/409

分类号：G01N27/409

优先权：

专利状态码：有效-授权

法律状态：2024.04.09#授权;2020.02.28#实质审查的生效;2020.02.04#公开

摘要：本发明属于传感技术领域，涉及一种基于氧化锆的微型氧浓度传感元件。该元件包括：两个过滤片1、三个电极环2以及两个氧化锆片3，其中，按照过滤片1、电极环2、氧化锆片3、电极环2、氧化锆片3、电极环2、过滤片1的顺序依次对中叠放，所述三个电极环2分别与与其接触的上下两个层形成三个空腔。

主权项：1.一种基于氧化锆的微型氧浓度传感元件，其特征在于，包括：两个过滤片、三个电极环以及两个氧化锆片，其中，按照过滤片、电极环、氧化锆片、电极环、氧化锆片、电极环、过滤片的顺序依次对中叠放，所述三个电极环分别与与其接触的上下两个层形成三个空腔，还包括：一个密封环，所述密封环设置在侧面上，所述密封环覆盖范围至少包含中间的电极环与两个氧化锆片的结合部位，所述密封环通过烧结形成在所述传感元件的侧面上，所述电极环为环状结构，一侧设置有引出端，两个氧化锆片以及密封环形成一个密闭空腔作为参比气室，上侧电极环和中间电极环之间通入电流，控制空腔内的氧含量，下侧电极环和中间电极环之间的氧化锆片感应空腔与外界的氧气浓度差，产生浓差电动势，通过电极环的引出端输出。

全文数据：

权利要求：

百度查询： 中国航空工业集团公司上海航空测控技术研究所 一种基于氧化锆的微型氧浓度传感元件

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