申请/专利权人：南京大学

申请日：2021-01-06

公开（公告）日：2024-04-09

公开（公告）号：CN112744783B

主分类号：B81C1/00

分类号：B81C1/00;B82Y40/00

优先权：

专利状态码：有效-授权

法律状态：2024.04.09#授权;2021.05.21#实质审查的生效;2021.05.04#公开

摘要：本发明公开了一种微纳复合结构的超疏水超疏油表面的制备方法。该方法先利用微纳加工技术中的光刻和深硅刻蚀工艺在硅表面制备悬垂微米柱阵列，然后通过银镜反应在微米柱顶部沉积纳米银颗粒，利用O2等离子体刻蚀处理获得纳米复合结构，最后通过全氟烷基氯硅烷对获得的微纳复合结构进行低表面能修饰从而获得超疏水超疏油的功能性表面。本发明方法制备的微纳复合结构其微米纳米结构形状、高度、疏密可调，具有操作简单、容易实现以及成本低等优点，可以获得很好的机械性能，在防污、自清洁、水油分离等方面有广阔的应用前景。

主权项：1.一种微纳复合结构的超疏水超疏油表面的制备方法，其特征在于，该方法的步骤如下：a）利用微纳加工技术制备光刻胶的柱阵列，并进行深硅刻蚀，得到悬垂微米柱阵列；b）用全氟烷基氯硅烷对悬垂微米柱阵列的侧壁和底部进行防粘处理；防粘处理的具体步骤为：用O2对悬垂微米柱阵列处理60s，使其侧壁和底部形成硅羟基，阵列顶部为光刻胶无法形成羟基；然后将悬垂微米柱阵列放入真空干燥皿中，滴入10μL全氟烷基氯硅烷，静置20h使其挥发至阵列表面；c）将防粘处理后的阵列结构倒置浮于银镜反应混合溶液中，在悬垂微米柱顶部沉积纳米银颗粒；其中，在100mM硝酸银、100mM氢氧化钠溶液和600mM氨水形成的银氨络合物中加入100mM葡萄糖溶液和2wt%分散剂聚乙烯吡咯烷酮形成银镜反应混合溶液，所述银镜反应混合溶液中，氨水和硝酸银的体积比大于等于6，葡萄糖溶液与硝酸银的体积比为0.2~1，聚乙烯吡咯烷酮与硝酸银的体积比为0.1~0.4；沉积纳米银颗粒的温度为22-60度，沉积时间为3-15min；d）利用反应离子刻蚀技术，用O2等离子体在一定流量一定功率下以银颗粒为掩模刻蚀光刻胶，获得微纳复合结构；e）在所述微纳复合结构表面沉积SiO2，在真空体系中，用全氟烷基氯硅烷对结构表面进行低表面能的化学修饰，获得超疏水超疏油表面。

全文数据：

权利要求：

百度查询： 南京大学 一种微纳复合结构的超疏水超疏油表面的制备方法

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