申请/专利权人：ASMIP私人控股有限公司

申请日：2020-06-02

公开（公告）日：2024-04-09

公开（公告）号：CN112051012B

主分类号：G01M3/26

分类号：G01M3/26;G01M3/04

优先权：["20190606 US 62/858,224"]

专利状态码：有效-授权

法律状态：2024.04.09#授权;2022.06.07#实质审查的生效;2020.12.08#公开

摘要：本发明公开了用于进行气相反应器系统的泄漏检查的方法和系统。示例性系统包括：第一排气系统，所述第一排气系统经由第一排气管线联接到反应腔室；旁路管线，所述旁路管线联接到气体供应单元且联接到第一排气系统；气体检测器，所述气体检测器经由连接管线联接到旁路管线；连接管线阀，所述连接管线阀联接到连接管线；以及第二排气系统，所述第二排气系统联接到连接管线。方法包括使用第二排气系统来使连接管线排气，从而去除原本可能会影响气体检测器的准确度的连接管线中的残余气体。

主权项：1.一种气相反应器系统，包括：反应器，所述反应器包括反应腔室；气体供应单元，所述气体供应单元经由气体供应管线联接到所述反应腔室；第一排气系统，所述第一排气系统经由第一排气管线联接到所述反应腔室；旁路管线，所述旁路管线联接到所述气体供应单元和所述第一排气系统；气体检测器，所述气体检测器经由连接管线联接到所述旁路管线；连接管线阀，所述连接管线阀联接到所述连接管线；第二排气系统，所述第二排气系统联接到所述连接管线；第二排气管线，所述第二排气管线联接到所述连接管线；第二排气管线阀，所述第二排气管线阀在所述连接管线和所述第二排气系统之间；以及控制器，所述控制器配置成：通过关闭所述连接管线阀并打开第二排气管线阀来使所述连接管线排气。

全文数据：

权利要求：

百度查询： ASMIP私人控股有限公司 包括气体检测器的气相反应器系统

免责声明
1、本报告根据公开、合法渠道获得相关数据和信息，力求客观、公正，但并不保证数据的最终完整性和准确性。
2、报告中的分析和结论仅反映本公司于发布本报告当日的职业理解，仅供参考使用，不能作为本公司承担任何法律责任的依据或者凭证。

阅读全文 双屏查看 官方信息 专利公告 收藏专利 下载PDF 下载WORD