申请/专利权人：拉普拉斯新能源科技股份有限公司

申请日：2023-09-28

公开（公告）日：2024-04-23

公开（公告）号：CN220827460U

主分类号：C23C16/455

分类号：C23C16/455;H01L21/67

优先权：

专利状态码：有效-授权

法律状态：2024.04.23#授权

摘要：本实用新型公开了一种气源柜，该气源柜包括气柜模块和电柜模块，气柜模块包括气柜本体和设在气柜本体内部的特气单元，气柜本体包括气柜框架结构和连接在气柜框架结构上的气柜封板，气柜封板与气柜框架结构的连接缝隙处均设有密封结构。电柜模块包括电柜本体和设在电柜本体内的电器单元，电柜本体与气柜本体可拆卸连接。该气源柜能够较好地避免特气泄露至其他模块，降低安全事故的发生概率，提升气源柜的使用安全性。

主权项：1.气源柜，其特征在于，包括：气柜模块，所述气柜模块包括气柜本体和设在所述气柜本体内部的特气单元，所述气柜本体包括气柜框架结构和连接在所述气柜框架结构上的气柜封板，所述气柜封板与所述气柜框架结构的连接缝隙处均设有密封结构；电柜模块，所述电柜模块包括电柜本体和设在所述电柜本体内的电器单元，所述电柜本体与所述气柜本体可拆卸连接。

全文数据：

权利要求：

百度查询： 拉普拉斯新能源科技股份有限公司 气源柜

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