申请/专利权人：上海高笙集成电路设备有限公司

申请日：2023-09-04

公开（公告）日：2024-04-09

公开（公告）号：CN220736747U

主分类号：B01D46/10

分类号：B01D46/10;B01D46/681;B01D46/48;B01D46/00;F25D31/00

优先权：

专利状态码：有效-授权

法律状态：2024.04.09#授权

摘要：本实用新型涉及半导体废气处理技术领域，且公开了一种具备防堵功能的机台出气口，该具备防堵功能的机台出气口，包括出气管体，出气管体的内部设置有防堵机构。该具备防堵功能的机台出气口，设置环形制冷器对半导体废气进行提前冷却结晶，并且通过滤网进行过滤，避免在进入管道中后端时才生产粉尘结晶，导致因为管道长度限制难以清理，甚至造成管道堵塞后导致气体外泄，危害现场工作人员的工作安全，并通过设置的电机、转杆、转动锥齿轮、从动锥齿轮和连接杆的配合带动刮板进行转动对滤网表面以及出气管体的内壁进行刮除清理，避免结晶或粉尘粘附在滤网表面或者出气管体内壁表面，影响滤网的过滤效果和出气管体的输气效率。

主权项：1.一种具备防堵功能的机台出气口，包括出气管体1，其特征在于：所述出气管体1的内部设置有防堵机构2，所述防堵机构2包括：环形制冷器201，所述环形制冷器201固定安装在出气管体1的外侧；电机202，所述电机202固定安装在出气管体1的上表面，所述电机202的输出轴贯穿出气管体1的上表面固定安装有转杆203，所述转杆203的底端固定安装有转动锥齿轮204；滤网205，所述滤网205固定安装在出气管体1的内部，所述滤网205的左端设置有从动锥齿轮206，所述从动锥齿轮206的右端固定安装有连接杆207，所述连接杆207的右端外侧贯穿滤网205左侧表面的中心处固定安装有刮板208；收集口209，所述收集口209开设在出气管体1的底面，所述收集口209的底部通过螺栓固定安装有收集箱210。

全文数据：

权利要求：

百度查询： 上海高笙集成电路设备有限公司 一种具备防堵功能的机台出气口

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