申请/专利权人：中环领先半导体科技股份有限公司

申请日：2023-08-15

公开（公告）日：2024-04-09

公开（公告）号：CN220738835U

主分类号：B08B5/04

分类号：B08B5/04;B08B13/00

优先权：

专利状态码：有效-授权

法律状态：2024.04.09#授权

摘要：本实用新型碳化硅外延反应器便捷清洁装置，包括主箱体和吸尘机；主箱体设置有上清洁腔和下支撑架，上清洁腔对应设置有正面可升降式透明门幕；正面可升降式透明门幕上开设有左右对称式手套孔；正面可升降式透明门幕下拉后对应上清洁腔形成清洁用的、封闭的微环境。

主权项：1.一种碳化硅外延反应器便捷清洁装置，其特征在于：包括主箱体和吸尘机；主箱体设置有上清洁腔和下支撑架，上清洁腔和下支撑架之间通过台面隔开；上清洁腔对应设置有正面可升降式透明门幕；正面可升降式透明门幕上开设有左右对称式手套孔；正面可升降式透明门幕下拉后对应上清洁腔形成清洁用的、封闭的微环境。

全文数据：

权利要求：

百度查询： 中环领先半导体科技股份有限公司 碳化硅外延反应器便捷清洁装置

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