申请/专利权人：赣南师范大学

申请日：2023-06-14

公开（公告）日：2024-04-09

公开（公告）号：CN220755120U

主分类号：H05H1/24

分类号：H05H1/24;H05H1/52

优先权：

专利状态码：有效-授权

法律状态：2024.04.09#授权

摘要：本实用新型公开一种螺旋式盘状冷等离子体发生装置，包括冷等离子体发生区、材料净化区、绝缘顶板和外部电源。其主要特征在于：所述冷等离子体发生区中石英纤维管采用单端封口且封口端分上下两组，分别以螺旋状嵌入所述电极固定管内，将电极包裹在石英纤维管内，不仅可以有效提高装置的耐压能力，防止两个电极之间形成电弧放电，而且可以通过增加石英纤维管的圈数从而扩大放电面积；所述材料净化区中冷等离子体均匀进入净化区并作用于物体表面。本实用新型通过特殊的结构设计，获得大规模放电冷等离子体。所述装置具有绿色环保、结构简单、处理高效的优点，可用于半导体制造、杀菌消毒、医疗等诸多领域。

主权项：1.一种螺旋式盘状冷等离子体发生装置，由冷等离子体发生区、材料净化区、绝缘顶板和外部电源组成，其特征在于：所述冷等离子体发生区由高压电极、接地电极、螺旋式单端封口石英纤维管、电极固定管组成；所述石英纤维管采用单端封口且封口端分上下两组，分别以螺旋状嵌入所述电极固定管内，可以有效提高装置的耐压能力，防止两个电极之间形成电弧放电，而且可以通过增加石英纤维管的圈数从而扩大放电面积；所述高压电极、所述接地电极分别采用1根导电金属丝插入所述螺旋式单端封口石英纤维管内，螺旋式石英纤维管封口端分上下两组分别嵌入所述电极固定管内，螺旋式石英纤维管开口端反向引出电极分别构成所述高压电极、所述接地电极；所述高压电极、所述接地电极分别与所述外部电源的高压端和接地端相连；所述电极固定管为垂直绝缘硬管，起固定和绝缘作用；所述材料净化区为由圆筒、螺旋式石英纤维管和带出气口的可移动绝缘底板组成的空心腔体；所述绝缘顶板设置有通气孔，所述通气孔可以为圆孔、方孔形状；所述绝缘顶板位于所述冷等离子体发生区上方处；气体通过外部气泵进入所述冷等离子体发生区；所述气体可以是氧气、空气、氦气气体，再由螺旋式盘状石英纤维管均匀分配至所述材料净化区，最后气体从所述可移动绝缘底板排出；所述外部电源为冷等离子体专用电源，输出频率为5〜20kHz且电压为5~30kV的交流或脉冲电压。

全文数据：

权利要求：

百度查询： 赣南师范大学 一种螺旋式盘状冷等离子体发生装置

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