申请/专利权人：湖南博云新材料股份有限公司

申请日：2023-07-25

公开（公告）日：2024-04-09

公开（公告）号：CN220746076U

主分类号：C23C16/44

分类号：C23C16/44

优先权：

专利状态码：有效-授权

法律状态：2024.04.09#授权

摘要：本实用新型的一种化学气相沉积炉气体预热装置，包括下预热板和上预热板，所述下预热板的顶面设置有下部涡状开口流道，所述上预热板的底面设置有上部涡状开口流道，所述上部涡状开口流道与下部涡状开口流道合拢构成涡状预热流道，所述涡状预热流道内设置有多个预热球。采用本申请的化学气相沉积炉气体预热装置，确保了气体充分预热的同时，兼顾了装炉量和产品质量。

主权项：1.一种化学气相沉积炉气体预热装置，其特征在于：包括下预热板和上预热板，所述下预热板的顶面设置有下部涡状开口流道，所述上预热板的底面设置有上部涡状开口流道，所述上部涡状开口流道与下部涡状开口流道合拢构成涡状预热流道，所述涡状预热流道内设置有多个预热球。

全文数据：

权利要求：

百度查询： 湖南博云新材料股份有限公司 一种化学气相沉积炉气体预热装置

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