申请/专利权人：苏州岚创科技有限公司

申请日：2023-08-25

公开（公告）日：2024-04-09

公开（公告）号：CN220751236U

主分类号：G01D21/02

分类号：G01D21/02;G01L1/24;G01M11/02;G01B11/06

优先权：

专利状态码：有效-授权

法律状态：2024.04.09#授权

摘要：本申请涉及一种测量装置，包括椭偏仪和应力测量机构，椭偏仪包括载物台、起偏器和第一接收组件，载物台具有载物平面，起偏器用于向载物平面上的待测量样品发射线偏振入射光，以经待测量样品反射后产生椭圆偏振反射光，第一接收组件用于对椭圆偏振反射光进行分析，以测量椭圆偏振反射光的p偏振光和s偏振光的反射系数的振幅比，以及椭圆偏振反射光的p偏振光和s偏振光的相位差，应力测量机构用于向载物平面上的待测量样品发射入射光束，以经待测量样品后产生反射光束，应力测量机构用于对反射光束进行分析，以测量待测量样品的曲率，进而计算待测量样品的应力。如此，使测量装置能够分别实现对待测量样品的厚度、光学常数和应力的测量。

主权项：1.一种测量装置，其特征在于，包括：椭偏仪，包括载物台、起偏器和第一接收组件，所述载物台具有用于承载待测量样品的载物平面，所述起偏器和所述第一接收组件分别位于所述载物平面沿与所述载物平面平行的第一方向的两侧，所述起偏器用于向所述载物平面上的所述待测量样品发射线偏振入射光，以经所述待测量样品反射后产生椭圆偏振反射光，所述第一接收组件用于对所述椭圆偏振反射光进行分析，以测量所述椭圆偏振反射光的p偏振光和s偏振光的反射系数的振幅比，以及所述椭圆偏振反射光的所述p偏振光和所述s偏振光的相位差；以及应力测量机构，沿所述第一方向设置于所述起偏器和所述第一接收组件之间，并沿与载物平面垂直的第二方向与所述载物平面间隔设置，所述应力测量机构用于向所述载物平面上的所述待测量样品发射入射光束，以经所述待测量样品后产生反射光束，所述应力测量机构用于对所述反射光束进行分析，以测量所述待测量样品的曲率，进而计算所述待测量样品的应力。

全文数据：

权利要求：

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