申请/专利权人：钰镍(上海)半导体科技有限公司

申请日：2023-09-18

公开（公告）日：2024-04-09

公开（公告）号：CN220751504U

主分类号：G01M3/22

分类号：G01M3/22

优先权：

专利状态码：有效-授权

法律状态：2024.04.09#授权

摘要：本实用新型公开了一种高纯气体输送管路漏气检测设备，涉及管件漏气检测技术领域，包括控制箱和管件本体，控制箱上固定连接有检测箱，管件本体位于检测箱内，检测箱内设置有用于对管件本体一端封闭的支撑组件。本实用新型设计结构合理，它利用支撑组件和送气组件将管件本体固定于检测箱的内部，并在真空泵的作用下，对检测箱进行抽真空处理，使得检测箱内管件本体处于真空状态，而通过氦气罐往管件本体送入氦气，并通过氦气检测器对检测箱内氦气含量进行实时监控，进而通过检测箱内是否存在氦气来判断管件本体是否漏气，不会在管件本体上附着残留物，漏气检测后的管件本体无需再次进行处理即可投入至下道工序。

主权项：1.一种高纯气体输送管路漏气检测设备，包括控制箱1和管件本体9，其特征在于：所述控制箱1上固定连接有检测箱2，所述管件本体9位于所述检测箱2内，所述检测箱2内设置有用于对管件本体9一端封闭的支撑组件，所述控制箱1上设置有用于对管件本体9另一端送气的送气组件，所述控制箱1内安装有氦气检测器4和真空泵6，所述氦气检测器4的检测端位于检测箱2内，所述真空泵6的输入端安装有抽气管8，且抽气管8远离真空泵6的一端固定连通于检测箱2上。

全文数据：

权利要求：

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