申请/专利权人：华虹半导体(无锡)有限公司

申请日：2021-03-31

公开（公告）日：2024-04-23

公开（公告）号：CN113093474B

主分类号：G03F7/16

分类号：G03F7/16;H05F3/02

优先权：

专利状态码：有效-授权

法律状态：2024.04.23#授权;2021.07.27#实质审查的生效;2021.07.09#公开

摘要：本发明公开了一种光刻胶涂布设备的管路气泡消除方法，包括：步骤S1，使光刻胶涂布设备工作一预设时间；步骤S2，定位静电聚集部，所述静电聚集部位于光刻胶输送管路表面和或光刻胶储存容器表面；步骤S3，安装静电消除装置，所述静电消除装置包括至少一根导电装置，将所述导电装置的一端粘贴在所述静电聚集部，将所述导电装置的另一端固定在光刻胶涂布设备外壳的接地点。

主权项：1.一种光刻胶涂布设备的管路气泡消除方法，其特征在于，包括：步骤S1，使光刻胶涂布设备工作一预设时间；步骤S2，定位静电聚集部，所述静电聚集部位于光刻胶输送管路表面和或光刻胶储存容器表面步骤S3，安装静电消除装置，所述静电消除装置包括至少一根导电装置，将所述导电装置的一端粘贴在所述静电聚集部，将所述导电装置的另一端固定在光刻胶涂布设备外壳的接地点；通过所述静电消除装置消除光刻胶输送管路表面和光刻胶储存容器表面的气泡吸附和聚集，使气泡被排气设备所自动排出。

全文数据：

权利要求：

百度查询： 华虹半导体(无锡)有限公司 光刻胶涂布设备的管路气泡消除方法及设备

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