申请/专利权人：应用材料公司

申请日：2022-07-13

公开（公告）日：2024-04-05

公开（公告）号：CN117836093A

主分类号：B24B57/02

分类号：B24B57/02;B24B49/00;B06B1/06;B24B37/015;H01L21/67

优先权：["20210818 US 17/405,898"]

专利状态码：在审-实质审查的生效

法律状态：2024.04.23#实质审查的生效;2024.04.05#公开

摘要：示例性浆料递送组件可包括浆料流体源。组件可包括具有管腔入口和管腔出口的浆料递送管腔。管腔入口可与浆料流体源的输出流体耦接。组件可包括与管腔出口流体耦接的解块管。解块管可包括管入口和管出口。组件可包括与解块管耦接的一个或多个超声波换能器。

主权项：1.一种浆料递送组件，包括：浆料流体源；浆料递送管腔，具有管腔入口和管腔出口，所述管腔入口与所述浆料流体源的输出流体耦接；解块管，与所述管腔出口流体耦接，所述解块管包括管入口和管出口；以及一个或多个超声波换能器，与所述解块管耦接。

全文数据：

权利要求：

百度查询： 应用材料公司 用于减少CMP浆料结块的使用点超声波均质器

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