申请/专利权人：宜宾英发德耀科技有限公司

申请日：2024-01-15

公开（公告）日：2024-04-05

公开（公告）号：CN117832330A

主分类号：H01L31/18

分类号：H01L31/18;H01L31/0236;H01L31/0288

优先权：

专利状态码：在审-实质审查的生效

法律状态：2024.04.23#实质审查的生效;2024.04.05#公开

摘要：本申请提出了一种提高绒面稳定性的TOPCon电池的制备方法，涉及TOPCon电池制备技术领域。该制备方法包括以下步骤：对基片的正面进行清洗、去损伤、制绒；对基片的正面进行硼扩散；对基片的背面进行一次磷扩散；按照丝网印刷图形对PSG进行开槽处理，通过激光处理形成背面的SE区域；对基片的背面进行二次磷扩散；利用化学腐蚀去除背面PSG，再用碱液去除正面的BSG；所述碱液中添加有制绒添加剂；对正背面进行镀膜和印刷烧结后处理。本申请制备方法通过降低磷扩散的温度，采用低浓度HF溶液去PSG以及在碱液中添加制绒添加剂，对正面扩散层起到保护作用，提高绒面的稳定性。

主权项：1.一种提高绒面稳定性的TOPCon电池的制备方法，其特征在于，包括以下步骤：S1、对基片的正面进行清洗、去损伤、制绒；S2、对基片的正面进行硼扩散；S3、对基片的背面进行一次磷扩散；一次磷扩散的温度为700-850℃，时间为10-30min；S4、按照丝网印刷图形对PSG进行开槽处理，通过激光处理形成背面的SE区域；S5、对基片的背面进行二次磷扩散；二次磷扩散的温度为750-900℃，时间为10-60min；S6、利用化学腐蚀去除背面PSG，再用碱液去除正面的BSG；所述碱液中添加有制绒添加剂；S7、对正背面进行镀膜和印刷烧结后处理。

全文数据：

权利要求：

百度查询： 宜宾英发德耀科技有限公司 一种提高绒面稳定性的TOPCon电池的制备方法

免责声明
1、本报告根据公开、合法渠道获得相关数据和信息，力求客观、公正，但并不保证数据的最终完整性和准确性。
2、报告中的分析和结论仅反映本公司于发布本报告当日的职业理解，仅供参考使用，不能作为本公司承担任何法律责任的依据或者凭证。

阅读全文 双屏查看 官方信息 专利公告 收藏专利 下载PDF 下载WORD