申请/专利权人：四川大学

申请日：2024-01-04

公开（公告）日：2024-04-05

公开（公告）号：CN117825493A

主分类号：G01N29/036

分类号：G01N29/036

优先权：

专利状态码：在审-实质审查的生效

法律状态：2024.04.23#实质审查的生效;2024.04.05#公开

摘要：本发明属于气体传感器技术领域，具体涉及一种用于SF6分解产物检测的谐振式多目标气体传感器及方法；其中激振梁、中间梁和感知梁的一端设置在基座上，激振梁、中间梁和感知梁另一端上表面分别沉积有吸附层，激振梁和感知梁下方分别设置有驱动电极和检测电极，基座下方设置有接地电极，且基座、驱动电极、检测电极、接地电极均固定在基底层上；本发明通过导入非线性模态局部化现象大幅提升气体检测灵敏度和分辨率，并引入静电非线性破坏结构对称性，实现SF6气体的多种分解气体组分的同步检测。

主权项：1.一种用于SF6分解产物检测的谐振式多目标气体传感器，其特征在于，包括基座1、激振梁2、中间梁3、感知梁4、机械耦合单元5、吸附层6、驱动电极7、检测电极8、接地电极9和基底层10，其中激振梁2、中间梁3和感知梁4的一端设置在基座1上，激振梁2、中间梁3和感知梁4另一端上表面分别沉积有吸附层6，激振梁2和感知梁4下方分别设置有驱动电极7和检测电极8，基座1下方设置有接地电极9，且基座1、驱动电极7、检测电极8、接地电极9均固定在基底层10上。

全文数据：

权利要求：

百度查询： 四川大学 用于SF₆分解产物检测的谐振式多目标气体传感器及方法

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