申请/专利权人：爱美克空气过滤器(苏州)有限公司

申请日：2024-02-21

公开（公告）日：2024-04-05

公开（公告）号：CN117815775A

主分类号：B01D39/06

分类号：B01D39/06;B01D46/30;B01D46/88;B01D53/48;B01D53/81

优先权：

专利状态码：在审-实质审查的生效

法律状态：2024.04.23#实质审查的生效;2024.04.05#公开

摘要：本发明涉及一种除DMS的过滤材料以及过滤器滤芯。本发明的除DMS的过滤材料由基材和高锰酸钾混合制成，按质量百分比计算，所述基材的含量占87.5％‑91％，所述高锰酸钾的含量占9‑12.5％。基于高锰酸钾与DMS反应生成二甲基亚砜这一化学反应，采用高锰酸钾作为滤料的主要反应成分对由半导体制造产生的DMS进行去除，其去除效率高达94.1％，解决了DMS影响器件性能、导致晶圆废弃等问题。

主权项：1.一种除DMS的过滤材料，其特征在于，所述过滤材料由基材和高锰酸钾混合制成，按质量百分比计算，所述基材的含量占87.5％-91％，所述高锰酸钾的含量占9-12.5％。

全文数据：

权利要求：

百度查询： 爱美克空气过滤器(苏州)有限公司 一种除DMS的过滤材料以及过滤器滤芯

免责声明
1、本报告根据公开、合法渠道获得相关数据和信息，力求客观、公正，但并不保证数据的最终完整性和准确性。
2、报告中的分析和结论仅反映本公司于发布本报告当日的职业理解，仅供参考使用，不能作为本公司承担任何法律责任的依据或者凭证。

阅读全文 双屏查看 官方信息 专利公告 收藏专利 下载PDF 下载WORD