申请/专利权人:中国科学院高能物理研究所;济南中科核技术研究院
申请日:2024-01-19
公开(公告)日:2024-04-05
公开(公告)号:CN117832045A
主分类号:H01J35/14
分类号:H01J35/14;H01J35/02;H01J35/30;H05G1/30
优先权:
专利状态码:在审-实质审查的生效
法律状态:2024.04.23#实质审查的生效;2024.04.05#公开
摘要:本发明公开了一种基于透射靶的电子束动态扫描的微焦点射线源,其特征在于,包括电子枪、聚焦线圈、偏转系统和透射靶;所述电子枪,用于产生电子束流并依次经所述聚焦线圈、偏转系统入射到所述透射靶;所述聚焦线圈,用于聚焦入射的电子束,减小电子束的束斑尺寸;所述偏转系统,用于控制电子束偏转方向及角度,使电子束沿多角度轰击所述透射靶;所述透射靶,用于被电子束轰击后产生对待扫描对象成像的X射线;其中所述透射靶的入射面设有多个不同靶材的分区,通过电子束轰击不同靶材分区产生不同的X射线能谱。本发明能够减少高精度机械运动系统,降低CL成像系统的成本,同时可以实现高速在线检测。
主权项:1.一种基于透射靶的电子束动态扫描的微焦点射线源,其特征在于,包括电子枪、聚焦线圈、偏转系统和透射靶;所述电子枪,用于产生电子束流并依次经所述聚焦线圈、偏转系统入射到所述透射靶;所述聚焦线圈,用于聚焦入射的电子束,减小电子束的束斑尺寸;所述偏转系统,用于控制电子束偏转方向及角度,使电子束沿多角度轰击所述透射靶;所述透射靶,用于被电子束轰击后产生对待扫描对象成像的X射线;其中所述透射靶的入射面设有多个不同靶材的分区,通过电子束轰击不同靶材分区产生不同的X射线能谱。
全文数据:
权利要求:
百度查询: 中国科学院高能物理研究所;济南中科核技术研究院 一种基于透射靶的电子束动态扫描的微焦点射线源
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