申请/专利权人：应用材料股份有限公司

申请日：2022-06-23

公开（公告）日：2024-04-05

公开（公告）号：CN117836893A

主分类号：H01J37/304

分类号：H01J37/304;H01J37/08;H01J37/244;H01J37/317

优先权：["20210820 US 63/235,508","20220321 US 17/700,048"]

专利状态码：在审-实质审查的生效

法律状态：2024.04.23#实质审查的生效;2024.04.05#公开

摘要：本发明提供一种方法，包含：接收点离子射束的点射束轮廓；接收点离子射束的线性扫描射束轮廓；基于点射束轮廓和线性扫描射束轮廓而产生计算的校准点轮廓；以及基于计算的校准点轮廓而实施点离子射束的调整的扫描轮廓。

主权项：1.一种方法，包括：接收点离子射束的点射束轮廓；接收所述点离子射束的线性扫描射束轮廓；基于所述点射束轮廓和所述线性扫描射束轮廓而产生计算的校准点轮廓；以及基于所述计算的校准点轮廓而实施所述点离子射束的调整的扫描轮廓。

全文数据：

权利要求：

百度查询： 应用材料股份有限公司 射束线离子植入器的快速射束校准程序

免责声明
1、本报告根据公开、合法渠道获得相关数据和信息，力求客观、公正，但并不保证数据的最终完整性和准确性。
2、报告中的分析和结论仅反映本公司于发布本报告当日的职业理解，仅供参考使用，不能作为本公司承担任何法律责任的依据或者凭证。

阅读全文 双屏查看 官方信息 专利公告 收藏专利 下载PDF 下载WORD