申请/专利权人:合肥东昇智能装备股份有限公司
申请日:2023-09-05
公开(公告)日:2024-04-05
公开(公告)号:CN220724327U
主分类号:C23C14/52
分类号:C23C14/52;C23C14/50;G01D21/00
优先权:
专利状态码:有效-授权
法律状态:2024.04.05#授权
摘要:本申请公开了一种磁耦合闪频仪器,属于薄膜镀膜的技术领域,其包括真空镀膜室及设置于真空镀膜室内的频闪辊,真空镀膜室上设置有电机,频闪辊的一端转动安装于真空镀膜室的内壁,电机的输出轴上设置有用于与频闪辊另一端连接的连接件,频闪辊的外周面开设有宽缝和窄缝。本申请具有增大工作人员对真空镀膜室内观察范围的效果。
主权项:1.一种磁耦合闪频仪器,其特征在于:包括真空镀膜室1及设置于所述真空镀膜室1内的频闪辊2,所述真空镀膜室1上设置有电机4,所述频闪辊2的一端转动安装于所述真空镀膜室1的内壁,所述电机4的输出轴上设置有用于与所述频闪辊2另一端连接的连接件,所述频闪辊2的外周面开设有宽缝21和窄缝22。
全文数据:
权利要求:
百度查询: 合肥东昇智能装备股份有限公司 一种磁耦合闪频仪器
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