申请/专利权人：郑龙

申请日：2023-09-01

公开（公告）日：2024-04-05

公开（公告）号：CN220724411U

主分类号：C30B27/02

分类号：C30B27/02;C30B29/06

优先权：

专利状态码：有效-授权

法律状态：2024.04.05#授权

摘要：本实用新型涉及一种单晶生产炉氩气供气装置，包括：氩气盘、涡流管，其特征是：氩气盘由底盘和固定在底盘上的氩气输气机构组成，所述氩气输气机构包括压力调节阀、质量流量计、第一电磁阀、第二电磁阀、第三电磁阀、第一手动阀、第二手动阀；涡流管固定在氩气盘的底盘上，氩气输气机构的进气管连接涡流管的冷气端。其优点是：本实用新型利用涡流管能够将常温氩气降至0～‑40℃，再通过氩气盘将低温氩气输入单晶生产炉，大大缩短了停炉后热场和晶棒冷却时间，提高了生产效率。

主权项：1.一种单晶生产炉氩气供气装置，包括：氩气盘、涡流管，其特征是：氩气盘由底盘和固定在底盘上的氩气输气机构组成，所述氩气输气机构包括压力调节阀、质量流量计、第一电磁阀、第二电磁阀、第三电磁阀、第一手动阀、第二手动阀，压力调节阀的进气口连接第一三通、出气口连接第二三通，第一三通的一个端口连接进气管、另一个端口连接第三三通，第三三通的一个端口连接第一电磁阀进气口，第一电磁阀出气口连接第四三通，第四三通的一个端口连接第五三通，在第三三通和第四三通间连接第一手动阀；第二三通的一个端口连接第二手动阀、另一个端口连接质量流量计进气口，第二手动阀的另一端口连接第六三通，质量流量计出气口连接第七三通，在第六三通和第七三通之间连接第三电磁阀，在第七三通和第五三通之间连接第二电磁阀，第五三通连接第一出气口，第六三通连接第二出气口；涡流管固定在氩气盘的底盘上，氩气输气机构的进气管连接涡流管的冷气端。

全文数据：

权利要求：

百度查询： 郑龙 单晶生产炉氩气供气装置

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