申请/专利权人：广东赛因迪科技股份有限公司

申请日：2023-08-09

公开（公告）日：2024-04-16

公开（公告）号：CN220788778U

主分类号：C23C16/455

分类号：C23C16/455;B24C1/00

优先权：

专利状态码：有效-授权

法律状态：2024.04.16#授权

摘要：一种低压化学气相沉积技术用供气管，涉及半导体镀膜技术领域，包括不锈钢管，不锈钢管壁上设置有导气孔，不锈钢管上缠绕有避开导气孔的数个钢丝圈，相邻钢丝圈之间的间距为1mm—5mm，钢丝圈的钢丝直径为0.5mm—3mm。本实用新型与已有技术相比，具有能显著延长供气管使用寿命的优点。

主权项：1.一种低压化学气相沉积技术用供气管，包括不锈钢管，其特征在于不锈钢管上缠绕有数个钢丝圈，相邻钢丝圈之间的间距为1mm—5mm，钢丝圈的钢丝直径为0.5mm—3mm。

全文数据：

权利要求：

百度查询： 广东赛因迪科技股份有限公司 一种低压化学气相沉积技术用供气管

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