申请/专利权人：北京空间机电研究所

申请日：2023-12-13

公开（公告）日：2024-04-12

公开（公告）号：CN117870880A

主分类号：G01J9/00

分类号：G01J9/00;G02F1/01;G06T7/00;G06N3/067

优先权：

专利状态码：在审-实质审查的生效

法律状态：2024.04.30#实质审查的生效;2024.04.12#公开

摘要：一种利用空间光场调制器评估光计算系统中光学掩模的方法，属于智能光计算技术领域。本发明可以用空间光场调制器精准模拟DOE制造过程中的量化和纵向误差，合理正确预测不同加工工艺下的DOE对光学神经网络计算精度的影响，从而大幅节约DOE制造成本，同时也能保证依赖DOE的光学学神经网络的计算精度在一个合理且较高的区间。

主权项：1.一种利用空间光场调制器评估光计算系统中光学掩模的系统，其特征在于，包括：激光器，用于产生激光束并发射至平行相干光模块；平行相干光模块，用于将激光束整形为平行相干光并发射至空间光场调制器；空间光场调制器，用于在通过的平行相干光上加载根据光学衍射元件制造所需的高度图转化得到的相位图；透镜，用于将通过空间光场调制器的光束聚焦在探测器的焦点上；探测器，对入射光束进行成像，通过验证成像质量来分析制造光学衍射元件时不同的量化误差和纵向加工精度误差对光计算精度的影响，进而根据不同光学神经网络的要求选择其合适的光学衍射元件制造工艺。

全文数据：

权利要求：

百度查询： 北京空间机电研究所 一种利用空间光场调制器评估光计算系统中光学掩模的方法

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