申请/专利权人：香港城市大学

申请日：2023-08-24

公开（公告）日：2024-04-12

公开（公告）号：CN117877963A

主分类号：H01J65/04

分类号：H01J65/04;H01J61/40

优先权：["20230522 US 18/321,047"]

专利状态码：在审-实质审查的生效

法律状态：2024.04.30#实质审查的生效;2024.04.12#公开

摘要：一种远紫外准分子光源，包括可通电的第一电极、可通电的第二电极、限定了充满受激分子复合物的空腔的主体、以及远紫外滤光器。该主体位于第一电极和第二电极之间。远紫外滤光器连接在第一电极的内侧，并适于过滤在主体的空腔内激发的远紫外光。该远紫外滤光器位于光源内部，以及带有受激分子的空腔和第一电极之间。在本发明的实施例中，反射器部件与电极集成在一起，可以在灯中实现过滤和反射，同时保持灯的紧凑尺寸。

主权项：1.一种远紫外准分子光源，包括：可通电的第一电极；可通电的第二电极；限定了充满受激分子复合物的空腔的主体，该主体位于所述第一电极和所述第二电极之间；以及远紫外滤光器，其连接在所述第一电极的内侧，并适于过滤在所述主体的所述空腔内激发的远紫外光；其中该远紫外滤光器位于所述光源内部，以及带有所述受激分子的所述空腔和所述第一电极之间。

全文数据：

权利要求：

百度查询： 香港城市大学 带有内部电介质涂层滤光器并布置在电极内侧的远紫外光源

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