申请/专利权人：山东博华电子科技发展有限公司;济南大学;山东超探电子科技有限公司

申请日：2024-01-15

公开（公告）日：2024-04-12

公开（公告）号：CN117880726A

主分类号：H04R31/00

分类号：H04R31/00;H04R17/00

优先权：

专利状态码：在审-实质审查的生效

法律状态：2024.04.30#实质审查的生效;2024.04.12#公开

摘要：本公开涉及一种微机电系统压电换能器及其制作方法，涉及微机电系统技术领域，微机电系统压电换能器的制作方法，包括：提供基底，在基底的正面上依次形成第一金属层和压电材料层；图案化压电材料层，形成压电薄膜；图案化第一金属层，在压电薄膜的下方形成第一电极；在压电薄膜上形成第二电极，第一电极、压电薄膜和第二电极在基底上形成换能单元；刻蚀基底的背面，在换能单元的下方形成背腔。压电薄膜替代压电陶瓷接收机械应力，减轻了换能单元的重量，有利于换能单元的尺寸减小、提高换能单元的设置密度，微机电系统压电换能器的整体的重量轻、尺寸小，解除了重量和尺寸对微机电系统压电换能器的应用领域的限制。

主权项：1.一种微机电系统压电换能器的制作方法，其特征在于，包括以下步骤：提供基底，在所述基底的正面上依次形成第一金属层和压电材料层；图案化所述压电材料层，形成压电薄膜；图案化所述第一金属层，在所述压电薄膜的下方形成第一电极；在所述压电薄膜上形成第二电极，所述第一电极、所述压电薄膜和所述第二电极在所述基底上形成换能单元；刻蚀所述基底的背面，在所述换能单元的下方形成背腔。

全文数据：

权利要求：

百度查询： 山东博华电子科技发展有限公司;济南大学;山东超探电子科技有限公司 微机电系统压电换能器及其制作方法

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