申请/专利权人：中国科学院深圳先进技术研究院

申请日：2023-12-01

公开（公告）日：2024-04-12

公开（公告）号：CN117871454A

主分类号：G01N21/3581

分类号：G01N21/3581;G01N21/01

优先权：

专利状态码：在审-实质审查的生效

法律状态：2024.04.30#实质审查的生效;2024.04.12#公开

摘要：本发明公开了一种太赫兹近场扫描系统及操作方法，其包括太赫兹辐射源、载物台、两个探针组件、太赫兹探测器、位移装置以及显微镜。其中，太赫兹辐射源用于产生太赫兹波；载物台用于放置待测样品，太赫兹波产生后聚集于待测样品处；探针组件包括探针及振动装置，探针与振动装置连接，当探针对待测样品进行扫描时，探针借由振动装置产生振动并在太赫兹波照射下产生太赫兹近场散射信号；太赫兹探测器用于接收太赫兹近场散射信号；位移装置与载物台及探针组件连接，用于控制载物台及探针组件的移动；显微镜用于观察探针及待测样品。本发明基于双探针模型的设计的双振源耦合结构，其模型结构更加完善，扫描效率更高，从而进一步提高成像的效率。

主权项：1.一种太赫兹近场扫描系统，其特征在于，包括太赫兹辐射源，用于产生太赫兹波；载物台，用于放置待测样品，所述太赫兹波产生后聚集于所述待测样品处；两个探针组件，所述探针组件包括探针及振动装置，所述探针与所述振动装置连接，当所述探针对所述待测样品进行扫描时，所述探针借由所述振动装置产生振动并在所述太赫兹波照射下产生太赫兹近场散射信号；太赫兹探测器，用于接收所述太赫兹近场散射信号；位移装置，与所述载物台及所述探针组件连接，用于控制所述载物台及所述探针组件的移动；显微镜，用于观察所述探针及所述待测样品。

全文数据：

权利要求：

百度查询： 中国科学院深圳先进技术研究院 太赫兹近场扫描系统及操作方法

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