申请/专利权人：杭州视光半导体科技有限公司

申请日：2023-09-04

公开（公告）日：2024-04-23

公开（公告）号：CN220829969U

主分类号：H01L31/107

分类号：H01L31/107;G01J1/42;G01S17/08;G01S7/4865;G01S7/4915

优先权：

专利状态码：有效-授权

法律状态：2024.04.23#授权

摘要：本实用新型公开了一种可见光及近红外片上传感结构，特别涉及一种带有悬空导波结构的可见光及近红外传感结构，可实现高光限制特性的光波导传输。通过直接利用衬底刻蚀形成吸收区，引入单晶材料实现高效率光吸收。可用于单光子飞行时间测距、单光子量子通信与计算等要求探测器具有高灵敏度和低偏置电压的工作场景。

主权项：1.一种可见光及近红外片上传感结构，其特征在于，包括形成在衬底上的吸收区，所述吸收区顶部具有导波结构，所述吸收区底部通过悬浮窗口与衬底形成悬空结构。

全文数据：

权利要求：

百度查询： 杭州视光半导体科技有限公司 一种可见光及近红外片上传感结构

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