申请/专利权人:联合微电子中心有限责任公司
申请日:2023-12-28
公开(公告)日:2024-04-16
公开(公告)号:CN117894810A
主分类号:H01L27/146
分类号:H01L27/146
优先权:
专利状态码:在审-实质审查的生效
法律状态:2024.05.03#实质审查的生效;2024.04.16#公开
摘要:一种覆盖可见光和红外光的探测器芯片的制备方法,包括:在晶圆的第一区域形成CMOS图像传感器的多个可见光像素单元和电路层;在晶圆的第一区域的上方形成多个红外光探测像素单元,多个红外光探测像素单元与CMOS图像传感器的电路层电连接;以及在晶圆的第一区域的上方形成CMOS图像传感器的多个滤光片和多个微透镜,用于将入射光递送至多个可见光像素单元。
主权项:1.一种覆盖可见光和红外光的探测器芯片的制备方法,包括:在晶圆的第一区域形成CMOS图像传感器的多个可见光像素单元和电路层;在所述晶圆的第一区域的上方形成多个红外光探测像素单元,其中,所述多个红外光探测像素单元与所述CMOS图像传感器的电路层电连接;以及在所述晶圆的第一区域的上方形成所述CMOS图像传感器的多个滤光片和多个微透镜,用于将入射光递送至所述多个可见光像素单元。
全文数据:
权利要求:
百度查询: 联合微电子中心有限责任公司 覆盖可见光和红外光的探测器芯片及其制备方法
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