申请/专利权人：香港城市大学成都研究院

申请日：2021-09-22

公开（公告）日：2024-04-23

公开（公告）号：CN113937181B

主分类号：H01L31/09

分类号：H01L31/09;H01L31/0296;H01L31/18

优先权：

专利状态码：有效-授权

法律状态：2024.04.23#授权;2022.02.01#实质审查的生效;2022.01.14#公开

摘要：本发明公开了一种柔性氧化锌纳米颗粒紫外光探测器及其制备方法，该紫外光探测器，包括从上到下依次设置的共面电极层、感光层、柔性衬底；所述共面电极层采用银纳米线分散液作为原料，利用金属掩膜版辅助，利用喷涂法制备出共面电极图案；所述感光层采用ZnO纳米颗粒悬浮液掺杂单层MoS2乙醇分散液作为原料，利用金属掩膜版辅助，喷涂法制备成膜；所述柔性衬底采用PDMS薄膜。通过上述方案，本发明极大的缩短了器件的光响应时间，增强了器件光响应率，具有很高的实用价值和推广价值。

主权项：1.一种柔性氧化锌纳米颗粒紫外光探测器，其特征在于，包括从上到下依次设置的共面电极层、感光层、柔性衬底；所述共面电极层采用银纳米线分散液作为原料，利用金属掩膜版辅助，利用喷涂法制备出共面电极图案；所述感光层采用ZnO纳米颗粒悬浮液掺杂单层MoS2乙醇分散液作为原料，利用金属掩膜版辅助，喷涂法制备成膜；所述柔性衬底采用PDMS薄膜。

全文数据：

权利要求：

百度查询： 香港城市大学成都研究院 一种柔性氧化锌纳米颗粒紫外光探测器及其制备方法

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