申请/专利权人：广州国家实验室

申请日：2023-08-22

公开（公告）日：2024-04-23

公开（公告）号：CN220829393U

主分类号：G01N1/28

分类号：G01N1/28;G01N23/04

优先权：

专利状态码：有效-授权

法律状态：2024.04.23#授权

摘要：本申请提出一种载样芯片，载样芯片包括衬底和支持膜，衬底形成有至少一个贯通的成像窗口，支持膜覆盖成像窗口，支持膜形成有至少一个贯通的第一孔洞，第一孔洞在衬底的投影位于成像窗口之内。衬底用于安装到透射电镜的样品传递装置上或者用于安装到载网上，支持膜通过光刻方法生长于衬底的表面，从而省去了人工贴覆支持膜的步骤，有利于提高载样芯片的一致性以及载样芯片的大批量生产，还能够降低载样芯片受污染的风险，从而提高样品的观察效果，光刻方法也能够提高形成的支持膜的平整度，进一步提高样品的成像质量。

主权项：1.一种载样芯片，其特征在于，包括：衬底，所述衬底的材料采用硅化物，所述衬底形成有至少一个贯通的成像窗口；支持膜，所述支持膜覆盖所述成像窗口，所述支持膜形成有至少一个贯通的第一孔洞，所述第一孔洞在所述衬底的投影位于所述成像窗口之内。

全文数据：

权利要求：

百度查询： 广州国家实验室 一种载样芯片

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