申请/专利权人：丰田自动车株式会社

申请日：2023-10-17

公开（公告）日：2024-04-23

公开（公告）号：CN117917487A

主分类号：C25D17/00

分类号：C25D17/00;C25D5/02

优先权：["20221020 JP 2022-168689"]

专利状态码：在审-公开

法律状态：2024.04.23#公开

摘要：提供一种在成膜时能够抑制渗出液进入到丝网掩模与基材之间的金属被膜的成膜装置。掩模结构体60具备形成有预定图案P的贯通部分68的丝网掩模62。丝网掩模62具备：以格状形成有开口部64c的网眼部分64、以及在基材B侧固定于网眼部分64并形成有贯通部分68的掩模部分65。掩模部分65具有：保持掩模部分65的形状的芯部分65a、以及由比芯部分65a软质的弹性材料构成且与基材B接触的密封部分65b。

主权项：1.一种金属被膜的成膜装置，是在将掩模结构体夹在电解质膜与基材之间的状态下，通过电解镀，在基材上形成预定图案的金属被膜的成膜装置，所述成膜装置具备按压机构，所述按压机构通过镀液的液压，用所述电解质膜按压所述掩模结构体，所述掩模结构体具备形成有所述预定图案的贯通部分的丝网掩模，所述丝网掩模具备网眼部分和掩模部分，所述网眼部分以格状形成有开口部，所述掩模部分在所述基材侧固定在所述网眼部分上，并形成有所述贯通部分，所述掩模部分具有芯部分和密封部分，所述芯部分保持所述掩模部分的形状，所述密封部分由比所述芯部分软质的弹性材料构成，并与所述基材接触。

全文数据：

权利要求：

百度查询： 丰田自动车株式会社 金属被膜的成膜装置

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