申请/专利权人：丰田自动车株式会社

申请日：2021-07-28

公开（公告）日：2024-04-16

公开（公告）号：CN114262925B

主分类号：C25D17/00

分类号：C25D17/00;C25D17/10;C25D5/00

优先权：["20200916 JP 2020-155163"]

专利状态码：有效-授权

法律状态：2024.04.16#授权;2022.04.19#实质审查的生效;2022.04.01#公开

摘要：本发明提供能够以均匀的膜厚形成金属被膜的金属被膜的成膜装置和成膜方法。本发明的金属被膜的成膜装置，具备阳极、设置于上述阳极与成为阴极的基材之间的固体电解质膜、对上述阳极与上述阴极之间施加电压的电源部、在上述阳极与上述固体电解质膜之间收纳包含金属离子的溶液的溶液收纳部、以及通过上述溶液的液压将上述固体电解质膜向上述阴极侧加压的加压部，利用上述固体电解质膜对上述基材的表面加压，并且通过施加上述电压而使上述固体电解质膜的内部所含有的上述金属离子析出，由此在上述基材的表面形成金属被膜，其特征在于，还具备以包围上述阳极的外周面的方式设置的遮蔽电力线的遮蔽部件。

主权项：1.一种金属被膜的成膜装置，具备阳极、固体电解质膜、电源部、溶液收纳部和加压部，所述固体电解质膜设置于所述阳极与成为阴极的基材之间，所述电源部对所述阳极与所述阴极之间施加电压，所述溶液收纳部在所述阳极与所述固体电解质膜之间收纳包含金属离子的溶液，所述加压部通过所述溶液的液压将所述固体电解质膜向所述阴极侧加压，所述金属被膜的成膜装置，利用所述固体电解质膜对所述基材的表面加压，并且通过施加所述电压而使所述固体电解质膜的内部所含有的所述金属离子析出，由此在所述基材的表面形成金属被膜，所述金属被膜的成膜装置的特征在于，还具备遮蔽部件，所述遮蔽部件以包围所述阳极的外周面的方式设置，遮蔽电力线，在将所述遮蔽部件的缩小宽度W的比率和所述遮蔽部件的间隙D的比率分别设为X坐标和Y坐标的坐标系中，所述遮蔽部件的所述缩小宽度W的所述比率和所述间隙D的所述比率的组合包含在以-2，0、-2，5、2，16、5，16、5，12和0，0的坐标为顶点的范围内，所述遮蔽部件的所述缩小宽度W是指，对于俯视所述基材的所述表面之中形成所述金属被膜的成膜区域时的从所述成膜区域的周缘到所述遮蔽部件的内周面的距离，在所述遮蔽部件的所述内周面比所述成膜区域的所述周缘更靠内侧的情况下以正值表示，在所述遮蔽部件的所述内周面比所述成膜区域的所述周缘更靠外侧的情况下以负值表示，所述遮蔽部件的所述间隙D是指，从所述遮蔽部件的所述阴极侧的端面到所述固体电解质膜的所述阴极侧的端面的距离，所述遮蔽部件的所述缩小宽度W的所述比率是所述遮蔽部件的所述缩小宽度W相对于从所述成膜区域的中央到所述周缘的距离的比例，所述遮蔽部件的所述间隙D的所述比率是所述遮蔽部件的所述间隙D相对于从所述成膜区域的中央到所述周缘的距离的比例，所述缩小宽度W的比率和所述间隙D的比率的单位为％。

全文数据：

权利要求：

百度查询： 丰田自动车株式会社 金属被膜的成膜装置和成膜方法

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