申请/专利权人：丰田自动车株式会社

申请日：2023-10-17

公开（公告）日：2024-04-23

公开（公告）号：CN117917486A

主分类号：C25D17/00

分类号：C25D17/00;C25D5/02

优先权：["20221020 JP 2022-168657"]

专利状态码：在审-公开

法律状态：2024.04.23#公开

摘要：提供一种即使在使用了掩模结构体的情况下也能够抑制按压时的电解质膜损伤的金属被膜的成膜装置。一种成膜装置1，具备通过镀液L的液压用电解质膜13按压掩模结构体60的按压机构。掩模结构体60具备：形成有与预定图案对应的贯通部分68的丝网掩模62、以及在基材B侧支持丝网掩模62的周缘62a的框体61。在框体61上沿着与电解质膜13接触的开口缘61a，形成有由比框体61的材料软质的弹性材料构成的内侧覆盖部66A。

主权项：1.一种成膜装置，是在将掩模结构体夹在电解质膜与基材之间的状态下，通过电解镀，在基材上形成预定图案的金属被膜的成膜装置，所述成膜装置具备按压机构，所述按压机构通过镀液的液压，用所述电解质膜按压所述掩模结构体，所述掩模结构体具备丝网掩模和框体，所述丝网掩模形成有与所述预定图案对应的贯通部分，所述框体在所述基材侧支持所述丝网掩模的周缘，在所述框体上，沿着与所述电解质膜接触的开口缘，形成有由比所述框体的材料软质的弹性材料构成的内侧覆盖部。

全文数据：

权利要求：

百度查询： 丰田自动车株式会社 金属被膜的成膜装置

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