申请/专利权人：株式会社阿迪泰克工程

申请日：2023-10-20

公开（公告）日：2024-04-23

公开（公告）号：CN117917762A

主分类号：H01L21/67

分类号：H01L21/67;H01L21/687

优先权：["20221023 JP 2022-169551"]

专利状态码：在审-公开

法律状态：2024.04.23#公开

摘要：提供一种不会将基底层较大地弄伤、因为充分地形成剥离开端而自动化较容易、即使是在强度上较脆弱的基板也不会破损而能够进行膜的剥离、并且能够抑制杂质的产生的膜剥离装置。作为夹具碰触机构的多关节机器人5将正在进行超声波振动的振动夹具42碰触于粘贴在基板9上的膜91的角部，一边使膜91与基底层的界面产生超声波振动一边使振动夹具42进入到界面中。作为剥起机构的多关节机器人5将离开后的膜91的边缘保持而将膜剥起。

主权项：1.一种膜剥离装置，将粘贴在基板上的膜从基板剥离而除去，其特征在于，具备：振动夹具；超声波源，使振动夹具做超声波振动；以及夹具碰触机构，通过碰触振动夹具，在基板中使位于膜的下侧的层即基底层与膜的界面处产生超声波振动，夹具碰触机构是将振动夹具碰触于膜的边缘处的与基底层的界面而产生超声波振动的机构，设有将在与基底层的界面处产生了超声波振动的膜的边缘保持而将膜剥起的剥起机构。

全文数据：

权利要求：

百度查询： 株式会社阿迪泰克工程 膜剥离装置

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