申请/专利权人：埃尔福利翁有限公司

申请日：2020-11-07

公开（公告）日：2024-04-23

公开（公告）号：CN114729444B

主分类号：C23C14/56

分类号：C23C14/56;C23C4/137;C23C4/14;C23C16/54

优先权：["20191114 DE 102019007935.3"]

专利状态码：有效-授权

法律状态：2024.04.23#授权;2022.11.22#实质审查的生效;2022.07.08#公开

摘要：本发明解决的问题涉及用于处理柔性衬底18的方法和用于实施用于处理柔性衬底18的方法的真空处理系统，提供了能够实现产生足够的质量的可靠和均匀处理的解决方案。通过该方法解决了所述问题，柔性衬底18为柔性矩阵状或格子状构造材料，柔性衬底18的第一层在第一传输方向64上传输，并且柔性衬底18的至少一个第二层在相反的第二传输方向65上平行于第一层并且与第一层紧密间隔地传输穿过可以排空的处理区域中的自由区域26，其中至少一个处理介质11的至少一种可用通量13同时穿透柔性衬底18的第一层和第二层，同时它们在相反方向上传输穿过自由区域26。通过该布置解决了该问题，布置辊组20和辊组21，在每个辊组20、21中布置用于使柔性衬底18偏转的多个较小的辊24和多个较大的辊23，包括处理介质11的自由区域26布置在辊组20和辊组21之间，柔性衬底18在相反方向上传输穿过自由区域并且不改变方向，并且柔性衬底18的至少两个紧密间隔的层在传输方向64和传输方向65上在相反方向上传输。

主权项：1.一种用于处理柔性衬底18的方法，其中，用于用处理仪器11处理的柔性衬底18移动穿过真空处理系统的可排空处理区域，其特征在于，柔性衬底18是柔性矩阵状或格子状构造材料18，柔性衬底18的第一层在第一传输方向64上传输，并且柔性衬底18的至少一个第二层在与第一传输方向64相反的第二传输方向65上与柔性衬底18的第一层平行并且与柔性衬底18的第一层的距离在1mm和10mm之间传输穿过可排空处理区域中的自由区域26，其中，至少一个处理仪器11的至少一个可用通量13同时穿透柔性衬底18的第一层和第二层，同时这些层在相反方向上传输穿过自由区域26。

全文数据：

权利要求：

百度查询： 埃尔福利翁有限公司 用于处理柔性衬底的方法和用于实施方法的真空处理系统

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