申请/专利权人：东京毅力科创株式会社

申请日：2023-10-19

公开（公告）日：2024-04-23

公开（公告）号：CN117917761A

主分类号：H01L21/67

分类号：H01L21/67

优先权：["20221020 JP 2022-168579"]

专利状态码：在审-公开

法律状态：2024.04.23#公开

摘要：本发明涉及杯、液处理装置以及液处理方法。调整作为液处理对象的基板的周围的气流而使处理状况成为期望的处理状况。本公开的杯具备：流路形成构件，其在杯内的比基板靠该杯的周缘侧的位置，从下向上按顺序分别形成第1排气路径、飞散物回收路径、第2排气路径；合流排气路径，其以使第1排气路径、飞散物回收路径、第2排气路径分别朝向杯的周缘侧一并地排气的方式与该各路径连接；第1环状部，其包含在流路形成构件，在上方形成飞散物回收路径，在下方形成第1排气路径，并沿着基板的外周形成；以及连通孔，其为了使飞散物回收路径和合流排气路径连通而设于流路形成构件，相比于第1环状部和基板所构成的间隙，该连通孔的压力损失较大。

主权项：1.一种杯，其包围载置于载置部并被供给处理液的基板，并且其内部被进行排气，其中，该杯具备：流路形成构件，其在所述杯内的比所述基板靠该杯的周缘侧的位置，从下向上按顺序分别形成作为朝向所述杯的中心轴线侧各自开口的环状路径、并且彼此划分开的第1排气路径、回收来自所述基板的飞散物的飞散物回收路径、第2排气路径；合流排气路径，其以使所述第1排气路径、所述飞散物回收路径、所述第2排气路径分别朝向所述杯的周缘侧一并地排气的方式与该各路径连接，并且设于该杯内的所述基板的下方；第1环状部，其包含在所述流路形成构件，在上方形成所述飞散物回收路径，在下方形成所述第1排气路径，并沿着所述基板的外周形成；以及连通孔，其为了使所述飞散物回收路径和所述合流排气路径连通而设于所述流路形成构件，相比于所述第1环状部和所述基板所构成的间隙，该连通孔的压力损失较大。

全文数据：

权利要求：

百度查询： 东京毅力科创株式会社 杯、液处理装置以及液处理方法

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