申请/专利权人：索泰克公司

申请日：2022-08-17

公开（公告）日：2024-04-23

公开（公告）号：CN117918036A

主分类号：H01L21/18

分类号：H01L21/18;H01L21/762;H10N30/072;H01L21/02

优先权：["20210906 FR FR2109287"]

专利状态码：在审-公开

法律状态：2024.04.23#公开

摘要：本发明涉及一种用于将有用层15转移到支撑衬底20的方法，该方法包括以下步骤：a提供包括供体层12的供体衬底10；b通过在供体层12中注入物种来形成弱化区14并利用弱化区14限定了有用层15；c将支撑衬底20与供体衬底10组装；d热处理步骤，其包括第一阶段和第二阶段，其中，具有第一持续时间的第一阶段被加热到第一温度，并且适于使缺陷成熟并防止在区14中发生断裂，并且其中，具有第二持续时间的第二阶段包括在低于第一温度的第二温度下的保温，并且适于导致沿着弱化区引发断裂。

主权项：1.一种用于将工作层15转移到支撑衬底20上的方法，所述方法包括以下步骤：a提供供体衬底10，所述供体衬底10从主面开始包括由压电材料形成的供体层12和处理衬底13，所述供体层12位于所述处理衬底13的一个面上；b通过在所述供体层12中注入物种来形成弱化区14，所述弱化区14平行于所述主面并且与所述主面一起界定了工作层15；c以使所述供体层12介于所述处理衬底13与所述支撑衬底20之间的方式将所述支撑衬底20与所述供体衬底10接合；d进行热处理，所述热处理按顺序包括第一阶段和第二阶段；具有第一持续时间的第一阶段包括温度升高到第一温度，并且被设计成首先允许由所述物种在所述弱化区14中产生的缺陷成熟并且其次防止在所述弱化区14中引发断裂；具有第二持续时间的第二阶段包括在低于所述第一温度的第二温度下的保温时段，并且被设计成沿着所述弱化区14引发断裂，并且因此将所述工作层15转移到所述支撑衬底20上。

全文数据：

权利要求：

百度查询： 索泰克公司 用于将有用层转移到载体衬底的正面的方法

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