申请/专利权人：细美事有限公司

申请日：2023-07-27

公开（公告）日：2024-04-12

公开（公告）号：CN117878030A

主分类号：H01L21/677

分类号：H01L21/677

优先权：["20221012 KR 10-2022-0130784"]

专利状态码：在审-公开

法律状态：2024.04.12#公开

摘要：本发明涉及料盒移送模组以及利用其的裸片键合装置，料盒移送模组包括：OHT端口，从OHT被投入料盒；传送器，将料盒移送到交接位置；单元间移送构件，在OHT端口和传送器之间移送料盒；双轴驱动部，将配置于交接位置的料盒移送到下一个工艺，传送器包括：轨道，包括一对轨道部件，其设置为在Y轴方向上长并支承料盒，并且以一定距离隔开设置；第一移送构件，包括：板形状的支承板，配置于一对轨道部件之间；Z轴驱动部，在Z轴方向上移送支承板；以及Y轴驱动部，在Y轴方向上移送支承板，在支承板与料盒的下部接触的状态下使料盒向上方移动，从而以解除料盒与轨道的接触的状态将料盒移动到交接位置后，再次向下移动料盒并放置到轨道。

主权项：1.一种料盒移送模组，为裸片键合装置的料盒移送模组，其中，所述料盒移送模组包括：OHT端口，从OHT被投入料盒；传送器，将从所述OHT端口投入的所述料盒移送到规定位置即交接位置；单元间移送构件，在所述OHT端口和所述传送器之间移送所述料盒；双轴驱动部，将配置于所述交接位置的所述料盒移送到下一个工艺，所述传送器包括：轨道，包括一对轨道部件，所述一对轨道部件设置为在作为一方向的Y轴方向上长，并支承所述料盒，并且以一定距离隔开设置；第一移送构件，包括：板形状的支承板，配置于所述一对轨道部件之间；Z轴驱动部，在作为上下方向的Z轴方向上移送所述支承板；以及Y轴驱动部，在作为水平方向的Y轴方向上移送所述支承板，在所述支承板与所述料盒的下部接触的状态下使所述料盒向上方移动，从而以解除所述料盒与所述轨道的接触的状态将所述料盒移动到所述交接位置后，再次向下移动所述料盒并放置到所述轨道，所述双轴驱动部将配置于所述交接位置的所述料盒在Y轴方向和Z轴方向上移动的同时移送到下一个工艺。

全文数据：

权利要求：

百度查询： 细美事有限公司 料盒移送模组以及利用其的裸片键合装置

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