申请/专利权人：ASMIP私人控股有限公司

申请日：2023-10-11

公开（公告）日：2024-04-12

公开（公告）号：CN117867472A

主分类号：C23C16/455

分类号：C23C16/455

优先权：["20221012 US 63/415,388"]

专利状态码：在审-公开

法律状态：2024.04.12#公开

摘要：提出了一种气体入口管组件。该组件包括：配置为引入第一处理气体的第一入口和配置为引入第二处理气体的第二入口；以及气体入口管，其配置为混合来自第一入口的第一处理气体和来自第二入口的第二处理气体，气体入口管与衬底处理设备的反应室流体连通，并且包括上段和下段；其中第一入口和第二入口位于气体入口管的上段中，并且彼此直接相对，上段为渐缩锥形，下段为渐扩锥形，并且上段底部的长度与下段底部的长度比率可以为0.1～0.9，优选为0.15～0.25。

主权项：1.一种用于衬底处理设备的气体入口管组件，包括：配置为引入第一处理气体的第一入口和配置为引入第二处理气体的第二入口；以及气体入口管，其配置为混合来自第一入口的第一处理气体和来自第二入口的第二处理气体，气体入口管与衬底处理设备的反应室流体连通，并且包括上段和下段；其中，第一入口和第二入口位于气体入口管的上段中，并且彼此直接相对，气体入口管的上段为渐缩锥形，气体入口管的下段为渐扩锥形，并且上段长度H1与气体入口管长度H比率可以为0.1～0.9，优选为0.15～0.25。

全文数据：

权利要求：

百度查询： ASMIP私人控股有限公司 衬底处理设备中改善的气体混合物的气体入口管组件

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