申请/专利权人：杭州中欣晶圆半导体股份有限公司;宁夏中欣晶圆半导体科技有限公司

申请日：2022-04-24

公开（公告）日：2024-04-23

公开（公告）号：CN114959874B

主分类号：C30B15/00

分类号：C30B15/00;C30B15/20;C30B15/02;C30B15/12;C30B15/14;C30B15/30;C30B29/06;C30B27/02

优先权：

专利状态码：有效-授权

法律状态：2024.04.23#授权;2022.09.16#实质审查的生效;2022.08.30#公开

摘要：本发明公开了一种利用拉速改善径向晶棒RRG值的系统及其方法，包括炉体以及设置在炉体的右侧的加料组件，所述加料组件包括加料罐和导料筒所述导料筒底部的右侧连通有导料管，且导料管的底端设于籽料腔的上方，所述导料筒的左端贯穿于炉体右侧的上部，本发明涉及硅晶棒加工技术领域。该利用拉速改善径向晶棒RRG值的系统及其方法，通过驱动电机带动转动轴转动，第一齿轮、第二齿轮和齿环之间啮合，挡料筒转动使传料口位于加料罐与导料筒的连通处，使得螺旋传送叶转动将挡料筒内部的硅晶籽料传输至导料筒并通过导料管导入至籽料腔，加料组件的设置保证了坩埚构件内部原料的充足，进而方便设备的连续加工，提到设备的生产效率。

主权项：1.一种利用拉速改善径向晶棒RRG值的系统，包括炉体（1）以及设置在炉体（1）的右侧的加料组件（3），其特征在于：所述加料组件（3）包括加料罐（31）和导料筒（32），所述导料筒（32）底部的左侧连通有导料管（34），且导料管（34）的底端设于籽料腔（223）的上方，所述导料筒（32）的左端贯穿于炉体（1）右侧的上部，所述加料罐（31）的底端固定连接有隔离筒（33），且加料罐（31）的底端与隔离筒（33）的上部连通，所述隔离筒（33）的左侧与导料筒（32）的右侧连通，所述隔离筒（33）的内侧转动连接有挡料筒（331），且挡料筒（331）的表面开设有传料口（332），所述传料口（332）设于加料罐（31）与导料筒（32）的连通处，所述挡料筒（331）的内径与导料筒（32）的内径相同，所述导料筒（32）和挡料筒（331）的内侧转动连接有转动轴（321），且转动轴（321）的外侧固定连接有螺旋传送叶（322），且螺旋传送叶（322）的外侧与导料筒（32）和挡料筒（331）的内侧压接；所述隔离筒（33）的右侧固定连接有驱动电机（324），且驱动电机（324）的输出端贯穿于隔离筒（33）的内端并与挡料筒（331）的右端固定连接，所述转动轴（321）的右部固定连接有第一齿轮（323），所述挡料筒（331）的右侧固定连接有齿环（333），所述隔离筒（33）内腔右侧的中外部转动连接有第二齿轮（334），且第一齿轮（323）、第二齿轮（334）和齿环（333）之间啮合传动；所述炉体（1）的上部连通有上炉腔体（4），且上炉腔体（4）的内部的设有直拉机构（5），所述直拉机构（5）包括拉板（51）和两组限位板（52），所述限位板（52）与上炉腔体（4）中部固定连接，所述拉板（51）与上炉腔体（4）的内部限位滑动，所述拉板（51）底部通过轴承转动连接有转动拉杆（53），且转动拉杆（53）的表面开设有螺旋滑槽口（531），螺旋滑槽口（531）以指定的间距与倾斜角度开设在转动拉杆（53）的表面，从而控制拉晶头（54）以指定的速率进行转动，保证拉晶时的稳定，所述限位板（52）的表面开设限位贯穿口（521），且限位贯穿口（521）的内侧固定连接有限位柱（522），所述转动拉杆（53）贯穿于限位贯穿口（521）处，且螺旋滑槽口（531）与限位柱（522）滑动连接，所述拉板（51）的底部固定连接有抵杆（511），所述转动拉杆（53）的底端固定连接有拉晶头（54）；所述上炉腔体（4）的上部设有减速电机（41），且减速电机（41）的输出端固定连接有绕线盘（42），且绕线盘（42）处绕设有吊绳（43），所述吊绳（43）的底端贯穿于上炉腔体（4）的内部并与拉板（51）上部的中心固定连接，且拉板（51）与上部一组限位板（52）之间连接有拉簧（44）；所述炉体（1）的内部设有坩埚构件（2），所述坩埚构件（2）包括石墨坩埚（21）、石英坩埚（22）和坩埚支架（23），所述石墨坩埚（21）设于石英坩埚（22）的外侧，且石墨坩埚（21）设于坩埚支架（23）的上部，所述坩埚支架（23）的底端通过支撑轴杆（231）与炉体（1）的底部转动连接，所述石英坩埚（22）的内部设有坩埚滤管（221），且坩埚滤管（221）与石英坩埚（22）的内部固定连接，所述坩埚滤管（221）与石英坩埚（22）处设有滤流口（222），所述坩埚滤管（221）的外侧与石英坩埚（22）的内侧之间形成籽料腔（223），所述炉体（1）的上部从上到下依次设有第一导流筒（24）和第二导流筒（25），所述第一导流筒（24）的底端口设于坩埚滤管（221）上部的内侧，所述第二导流筒（25）的底端口设于石英坩埚（22）的上端口的内侧和坩埚滤管（221）上部的外侧，所述炉体（1）内腔的底部固定安装有电极（26），且电极（26）的上部连接有加热器（27），所述炉体（1）的内壁且位于第二导流筒（25）的下方固定连接有保温罩（28）。

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权利要求：

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